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NPFLEX 三维表面测量系统
型    号:
所属分类:Bruker光学轮廓仪/台阶仪
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针对大样品设计的非接触测试分析系统
测量灵活:大面型,关键角度 的精确测定
结果可靠:高精度表面三维信息
展现细节:纳米垂直分辨率
高速高效:快速获得重复性极佳的数据

NPFLEX 三维表面测量系统产品概述:

布鲁克的NPFLEXTM 3D表面测量系统为精密制造业带来前所未有的检测性能,缩短研发时间,提高了产品质量和生产力。基于白光干涉的原理,这套非接触系统提供了超过传统接触式测量技术的更多优点,这些仪器包括三坐标测试仪(CMM)和探针式轮廓仪等。测量优势包括获得高分辨的三维图像,进行快速丰富的数据采集,帮助用户更深入地了解部件的性能和功能。积累几十年的干涉技术和大样本的仪器设计的经验,NPFLEXTM是*个可以灵活地测量大尺寸样品的光学测量系统,而且能够高效快捷地获得从微观到宏观等不同方面的样品信息。
其灵活性表现在可用于测量表征更大的面型和更难测的角度
创新性的空间设计使得可测零件(样品)更大、形状更多
开放式龙门、定制的夹具和可选的摇摆测量头可轻松测量想测部位
高效的三维表面信息测量
每次测量均可获取多种分析结果
更容易获得更多的测量数据来帮助分析
垂直方向纳米分辨率提供更多的细节
干涉技术实现每一个测量象素点上的亚纳米级别垂直分辨率
工业界使用多年业已验证的干涉技术提供具有统计意义的数据,为日渐苛刻的加工工艺提供保障
测量数据的快速获取保证了测试的迅速和高效
zui少的样品准备时间和测量准备时间
比接触法测量(一条线)更大的视场(一个面)获得表面更多的数据

技术规格

测量性能非接触测量,三维立体成像, 表面粗糙度, 样品关键尺寸,薄膜厚度,摩擦学
物镜具有超长工作距离的物镜: 2X, 5X, 10X, 缓解装配;
具有标准工作距离的物镜: 1.5X, 2.5X, 5X, 10X, 20X, 50X, 100X;
可选透射物镜工具包;
可选四位置自动塔台;
目镜多种目镜可选:0.55X, 0.75X, 1X, 1.5X, 2X;
自动感应马达驱动选择, 非连续变焦
测量阵列zui大阵列 640 × 480, 高速
光源长寿命绿光和白光发光二极管
可测样品尺寸H = 350mm  (249mm,自动样品台; D = 304mm; W = 304mm
样品台承重能力样品台承重能力高达50kg (110磅)
充气载物台承重能力充气载物台承重能力高达77kg (170磅)
光学配件集成化电脑控制照明灯;
高精度闭环垂直扫描器;
电脑操作系统Latest Dell®  PC w/flat panel monitor, mounted on Ergotron®   workstation; Production mode,  built-in databasing with pass/fail for any parameter;
Optional HDVSI, MATLAB®/TCPIP, Film Analysis, Optical Analysis and SureVision
垂直分辨率 <0.15nm
RMS 重复性0.03nm
台阶高度精确度0.5%;
<0.12% 1σ
横向测量范围0.1- 13.2µm
光学分辨率zui小0.49µm
视场7.68 × 5.76mm (zui大), 0.06 × 0.05mm (zui小)
机台172cm H x 77cm D x 81cm W (67.6in. H x 30.4in. D x 32in. W)
认证CE, NRTL, T-Mark, ROHS compliant, ANSI B46.1 compliant

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