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光学轮廓仪的众多功能,你能掌握几点News
光学轮廓仪的众多功能,你能掌握几点
发布时间:2018-10-12 点击次数:51次
   光学轮廓仪的众多功能,你能掌握几点
  
  光学轮廓仪产品特点:
  
  1.精度高,寿命长---采用超高精度气浮导轨作为直线测量基准,具有稳定性好、承载大、永不磨损等优点,达到国内同类产品最高精度。
  
  2.高精度光栅尺及进口采集卡---保证数据采样分辨率,准确度高,稳定性好。
  
  3.光学轮廓仪床身采用天然花岗石(大理石)---造型美观,不变形,刚性好,保养方便简单,机械性能更加稳定可靠。
  
  4.基于windows操作平台的专用测量软件。国产光学轮廓测量仪界面亲切美观友好,操作方便,测量、分析功能强大,并实现和CAD无缝对接。
  
  5.手动十字滑台的夹具使工件的调整变得更加方便快捷。
  
  光学轮廓仪主要功能:
  
  共聚焦
  
  共聚焦技术可以用来测量各类样品表面的形貌。它比光学显微镜有更高的横向分辨率,可达0.10um。利用它可实现临界尺寸的测量。当用150倍、0.95数值孔径的镜头时,共聚焦在光滑表面测量斜率达70°(粗糙表面达86°)。共聚焦算法保证Z轴测量重复性在纳米范畴。
  
  干涉
  
  光学轮廓仪的相位差干涉(PSI)
  
  相位差干涉是一种亚纳米级精度的用于测量光滑表面高度形貌的技术。它的优势在于任何放大倍数都可以保证亚纳米级的纵向分辨率。使用2.5倍的镜头就能实现超高纵向分辨率的大视场测量。
  
  光学轮廓仪的白光干涉(VSI)
  
  白光干涉是一种纳米级测量精度的用于测量各种表面高度形貌的技术。它的优势在于任何放大倍数都可以保证纳米级的纵向分辨率。
  
  光学轮廓仪的多焦面叠加
  
  多焦面叠加技术是用来测量非常粗糙的表面形貌。根据Sensofar在共聚焦和干涉技术融合应用方面的丰富经验,特别设计了此功能来补足低倍共聚焦测量的需要。该技术的最大亮点是快速(mm/s)、扫描范围大和支援斜率大(最大86°)。此功能对工件和模具测量特别有用。
  
  光学轮廓仪的薄膜测量
  
  用分光反射计可以完善地解决薄膜厚度测量。Sneox在增加了分光反射计后可以测量10nm的膜厚和最多10层膜。由于是通过显微镜头测量,最小的测量点为5um。因为系统里有组合的LED光源,所以实时观察和膜厚测量能同时进行。

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